英特爾晶圓代（Intel Foundry）工和ASML迄今已製造超過一百萬片晶圓，協助客戶現階段即可運用High NA EUV，並為未來規模化應用做好準備
2026年9月8日－本週於SPIE光罩技術暨極紫外光微影研討會（SPIE Photomask Technology + Extreme Ultraviolet Lithography）上，英特爾晶圓代工與ASML分享將高數值孔徑極紫外光（High NA EUV）微影技術持續導入生產，以及未來將擴大應用的最新技術進展。
英特爾晶圓代工與ASML具體分享以下最新進展：
- High NA已應用於英特爾晶圓代工的高量產製造：從早期設備的認證與測試、研發，到代號為 Panther Lake 的 Intel® Core™ Ultra Series 3 處理器部分特定層的量產，迄今累計超過100萬片晶圓採用相關製程；其疊對精度（overlay）、產能（throughput）及設備可用率（availability）均達到英特爾晶圓代工的預期。
- 採用Intel 18A製程生產、並於特定層使用High NA 的產品，其表現持續達到甚至超越採用NXE平台（數值孔徑0.33的EUV）製作的對應層。
- 客戶可透過業界現行的光罩規格，實現High NA帶來的效益：無論是6吋光罩範圍內進行平面規劃（floor-planning），或採用英特爾晶圓代工的拼接技術與製程設計套件（PDK）解決方案。
- 三年多來，英特爾晶圓代工積極倡議大尺寸光罩規格，推動光罩生態系偕同發展：英特爾晶圓代工與ASML、光罩製造商、自動化設備供應商、電子設計自動化（EDA）合作夥伴、材料供應商及半導體製造商密切合作，共同推進未來High NA規模化發展所需的標準、基礎設施與技術。
ASML總裁暨執行長Christophe Fouquet表示：「從2024年安裝首套商用EXE系統、完成最新一代設備認證，到出貨首款採用High NA製造的高量產邏輯產品，英特爾晶圓代工一直是引領產業採用High NA的關鍵業者之一。ASML肯定英特爾晶圓代工在High NA領域的先驅地位，以及其透過6吋光罩的創新方案為客戶創造即時價值的成果，同時也感謝英特爾代工長期支持光罩朝6 × 12吋規格演進。」
英特爾執行副總裁暨英特爾晶圓代工共同總經理Naga Chandrasekaran表示：「面對日益複雜的AI產品，企業需要已具備量產條件、且易於使用的製造創新技術。在微影技術方面，英特爾晶圓代工近期專注於支援客戶在6吋光罩上採用High NA EUV，無論是否採用拼接技術，同時推動至6×12吋光罩轉型。我們將持續與ASML及整個產業緊密合作，共同推動這項轉型。」
英特爾晶圓代工與ASML將在雙方多年合作的基礎上，進一步凝聚微影生態系統，共同推動更大尺寸光罩規格發展，並促進未來擴展High NA EUV應用所需的標準、基礎設施與技術進步。透過與光罩製造商、自動化設備供應商、EDA合作夥伴、材料供應商及半導體製造商的共同合作，雙方協助確立產業採用大尺寸光罩的發展方向，同時讓客戶現階段即可獲得High NA EUV帶來的效益。
SPIE光罩技術暨極紫外光微影技術研討會發表資訊
本週於SPIE光罩技術暨極紫外光微影技術研討會上，英特爾晶圓代工與ASML將分享關於光罩拼接（reticle stitching）技術的最新進展，這項技術可讓設計人員沿用目前標準的6吋光罩，實現High NA EUV應用。
ASML的Jan van Schoot將於太平洋時間9月8日（星期二）上午11點發表主題為「支援半視場拼接的掃描器與光罩需求」（Scanner and mask requirements to support half field stitching）的演說；隨後，英特爾晶圓代工的Kimberly Pierce將於同場次上午11點20分發表主題為「High-NA EUV：量產應用的拼接技術」（High-NA EUV: stitching for manufacturing）的演說。
關於英特爾
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關於 ASML
ASML is a leading supplier to the semiconductor industry. The company provides chipmakers with hardware, software and services to mass produce the patterns of integrated circuits (microchips). Together with its partners, ASML drives the advancement of more affordable, more powerful, more energy-efficient microchips. ASML enables groundbreaking technology to solve some of humanity’s toughest challenges, such as in healthcare, energy use and conservation, mobility and agriculture. ASML is a multinational company headquartered in Veldhoven, the Netherlands, with offices across EMEA, the US and Asia. Every day, ASML’s more than 44,000 employees (FTE) challenge the status quo and push technology to new limits. ASML is traded on Euronext Amsterdam and NASDAQ under the symbol ASML. Discover ASML – our products, technology and career opportunities – at www.asml.com .